참조설명
- 클린룸 어플리케이션에 적합하도록 설계된 벨트 타입 액츄에이터이며 ISO CLASS 3 과 CLASS 1 US FED STD 209E 인증을 받음
- 내부와 외부를 완벽히 차단하는 특수설계된 폴리우레탄 커버를 장착하ㅕ 내부 파티클이 외부로 방출되는 것을 막아주며 그뿐만 아니라 액츄에이터 내부의 오염원을 제거하는 진공 에어 석션 기능 또한 지원이 가능
- 액추에이터 구성품의 재질은 모드 스테인리스 스틸이며, 스테인리스 스틸을 사용할 수 없는 부분은 파티클 발생을 최소화하기 위해 특수 처리됨